美国Logosol,预对准器, LPA312-3 ,独立晶圆预对准器
独立
用于 45 毫米 – 480 毫米物体高精度对准的自主设备，包括方形和双层基板，无需机械重新定位即可单单元处理多种尺寸的物体，卡盘加载和销钉加载模式，以及高精度选项。
创新的高性能一体化设计无需外部控制器和互连电缆，同时保持直接兼容性
由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体，而无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件具有一整套常用命令，可与各种半导体平台兼容和连接
典型的对中周期时间小于 4 秒，有助于实现最大的系统吞吐量
LPA312-3 规格
LPA312-3 一般尺寸
