美国Logosol,预对准器, 边缘处理,边缘处理预对准仪, LPA6EH-3 , LPA8ET-3 ,LPA8EH-3 , LPA68EH-3, LPA8ET-3,LPA12ET-3, LPA812EH-3
用于 150mm 晶圆的独立边缘处理预对准器
LPA6EH-3-REHV1-S29-S（B）-R560V-NE系列
减少接触边缘处理 用于 150mm 晶圆的预对准器
对准能力：标准 150 毫米晶圆 150 毫米平面、透明和半透明基板
接触区：光斑宽度为 1mm 的边缘触点
减少接触边缘处理预对准器可容忍交付晶圆的较大初始偏移（最大 6mm）
规格
