美国Logosol,预对准器, 边缘处理,用于 300mm 晶圆,独立边缘处理预对准器,LPA12ET-3-RETV1-S38-S（B）-R880V-NE-（C）

美国Logosol,预对准器, 边缘处理,用于 300mm 晶圆,独立边缘处理预对准器,LPA12ET-3-RETV1-S38-S（B）-R880V-NE-（C）

用于 300mm 晶圆的边缘处理预对准器

对准能力：标准 300 毫米晶圆 300 毫米 TAIKO 晶圆

接触区：光斑宽度为 1mm 的边缘触点

标准配置：为晶圆提供最均匀的支撑

C（交叉）配置：为较厚的末端执行器提供空间，并从三个侧面平等进入

与上一代边缘处理预对准器（最大 6 毫米）相比，两种配置都能容忍交付晶圆的更大初始偏移