美国Logosol,预对准器, 边缘处理,独立的边缘处理晶圆预对准器,LPA68EH-3-REHV1-S38-S（B）-R900V-NE-LH58
减少接触边缘处理的预对准器，适用于两种晶圆尺寸，边缘接触区域小于 1mm
对准能力：标准 150 和 200 mm 晶圆透明和半透明基板
本体：LPA58 接口入口：侧面（可选底部）
LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58
美国Logosol,预对准器, 边缘处理,独立的边缘处理晶圆预对准器,LPA68EH-3-REHV1-S38-S（B）-R900V-NE-LH58
减少接触边缘处理的预对准器，适用于两种晶圆尺寸，边缘接触区域小于 1mm
对准能力：标准 150 和 200 mm 晶圆透明和半透明基板
本体：LPA58 接口入口：侧面（可选底部）
LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58
