美国Logosol,预对准器, 嵌入式,嵌入式晶圆预对准器,LPA312-1E

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创新的高性能一体化设计无需外部控制器和互连电缆,同时保持直接兼容性

由超低惯量无刷电机驱动,实现平稳、即时的响应

先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体,而无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位

运动控制软件具有一整套常用命令,可与各种半导体平台兼容和连接

典型的对中周期时间小于 4 秒,有助于实现最大的系统吞吐量

LPA312-1E 规格


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