美国Logosol,独立晶圆预对准器,快速交换,LPA12FS-3
创新的高性能一体化设计无需外部控制器和互连电缆，同时保持直接兼容性
基于专有设计的快速交换功能，允许晶圆卡盘负载低于引脚水平
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体，而无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件具有一整套常用命令，可与各种半导体平台兼容和连接
典型的对中周期时间小于 5 秒，有助于实现最大的系统吞吐量
美国Logosol,独立晶圆预对准器,快速交换,LPA12FS-3
创新的高性能一体化设计无需外部控制器和互连电缆，同时保持直接兼容性
基于专有设计的快速交换功能，允许晶圆卡盘负载低于引脚水平
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体，而无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件具有一整套常用命令，可与各种半导体平台兼容和连接
典型的对中周期时间小于 5 秒，有助于实现最大的系统吞吐量
