美国Logosol, 独立晶圆预对准器,LPA12FS-3, 快速交换预对准器,晶圆直径300mm

美国Logosol, 独立晶圆预对准器,LPA12FS-3, 快速交换预对准器

LPA12FS-3

创新的高性能一体化设计无需外部控制器和互连电缆，同时保持直接兼容性

基于专有设计的快速交换功能，允许晶圆卡盘负载低于引脚水平

先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体，而无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位

运动控制软件具有一整套常用命令，可与各种半导体平台兼容和连接

典型的对中周期时间小于 5 秒，有助于实现最大的系统吞吐量