美国Logosol,晶圆预对准器,LPA 系列,独立式 12 英寸 – 18 英寸晶圆,嵌入式 3 英寸 – 12 英寸晶圆,独立式 2“-6” 晶圆,边缘处理，8 英寸晶圆
LPA 系列 创新、高性能、兼容 1 类
独特的一体化设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了直接兼容性
扫描电子设备、运动控制器和电源包含在行业标准封装内
由超低惯量无刷电机驱动，可实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体，而无需机械重新定位在不同尺寸之间
与晶圆处理机器人无缝接口，支持从 45mm 到 480mm 的所有晶圆尺寸，以及各种尺寸的方形衬底
Logosol 控制软件具有一套全面的命令，可与各种半导体平台兼容和接口
快速的对准周期时间有助于实现最大的系统吞吐量 可作为独立设备以及与晶圆处理机器人配合使用的嵌入式设备
可作为独立设备和与晶圆处理机器人配合使用的嵌入式设备使用固定选项包括真空、非真空和边缘处理
LPA 系列预对准器一般尺寸
LPA 系列预对准器规格
