创新型高性能一体化设计，无需外部控制器和连接线缆，同时保持可直接替换的兼容性
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时响应
先进的扫描电子系统，无需机械调整即可检测透明、半透明和不透明的物体，适用于不同尺寸晶圆
运动控制软件支持常用指令集，便于与多种半导体平台兼容与对接
典型对准周期小于 4 秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA312-3 规格
晶圆直径：3”, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm
晶圆不透明度：透明，半透明，不透明
方形基片：适用
晶圆搬运：真空卡盘和销钉
居中精度：±25um 在预对准器吸盘上
角度精度：
10000 CPR 编码器：±0.04° 在预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器：±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴：3
主机通信:RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移:12mm
外形尺寸（宽 × 长 × 高）:173mm x 317mm x 190mm
占地兼容性:LPA812-3, LPA1218-3,LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量:5.50kg
所需设施:100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A真空：12 英寸汞柱（Hg）
切边/缺口兼容性:符合SEMI标准
洁净度:Class 1
平均无故障时间MTBF:超过70000小时
LPA312-3 一般尺寸规格
https://www.bihec.com/logosol/进口代理Logosol LPA312-3晶圆校准器,晶圆寻边器,晶圆预对准器/
