Logosol,LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y),晶圆预对准器,适用于两种晶圆尺寸,边缘接触区小于1毫米，并具有三种不同的针配置。
C型（十字）配置：提供最均匀的晶圆支撑，并且从三个侧面具有相等的接入空间。
X型配置：为超过6英寸宽的末端执行器提供空间，并且从两个侧面具有相等的接入空间。
Y型配置：与晶圆的物理接触最小（仅在旋盘和针上有3个接触点），并且从两个侧面具有相等的接入空间。
接口入口：侧面（可选底部）
LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y),独立式边缘处理晶圆预对准器规格：
LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C 尺寸( inch/mm):
LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-X 尺寸（inch/mm）:
LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-Y尺寸（inch/mm）：
美国,Logosol,LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y),独立式边缘处理晶圆预对准器
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