美国Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圆预对准器描述：
创新的高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持与现有系统的兼容性
采用超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、瞬时响应
先进的扫描电子技术能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件具备一套全面的常用命令集，支持与多种半导体平台的兼容性和接口
典型对准周期时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量
美国Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圆预对准器规格：
美国Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圆预对准器尺寸(inch/mm)：
美国Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圆预对准器
https://www.bilibili.com/opus/1007391631627780151
https://www.bihec.com/logosol/LPA812-1E/
