美国,Logosol,LPA12FS-3,独立晶圆预对准器

独立晶圆预对准器
创新的高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持与现有系统的兼容性
基于专有设计的快速交换功能，允许在针脚水平以下进行晶圆夹具装载
先进的扫描电子技术能够在不进行机械重新定位的情况下检测透明、半透明和不透明物体，适用于不同晶圆尺寸
运动控制软件包含一整套常用命令，支持与多种半导体平台的兼容性和接口
典型对准周期时间小于五秒，帮助实现最大系统吞吐量

美国,Logosol,LPA12FS-3,独立晶圆预对准器规格：