美国,Logosol,LPA1218-1E,嵌入式晶圆预对准器

美国,Logosol,LPA1218-1E,嵌入式晶圆预对准器描述

嵌入式晶圆预对准器
创新的高性能一体化设计,消除了外部控制器和连接电缆,同时保持与现有系统的兼容性
由超低惯性无刷电机驱动,实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子技术能够在不进行机械重新定位的情况下,检测透明、半透明和不透明物体,适用于不同晶圆尺寸
运动控制软件包含一整套常用命令,支持与多种半导体平台的兼容性和接口
典型对准周期时间小于四秒,帮助实现最大系统吞吐量

 

美国,Logosol,LPA1218-1E,嵌入式晶圆预对准器规格

 

美国,Logosol,LPA1218-1E,嵌入式晶圆预对准器尺寸(inch/mm):

 

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