LOGOSOL,晶圆处理桌面机器人,H-zero,晶圆机械手,Diamond 系列大气机器人在晶圆处理设备的设计和可靠性方面代表了显著的工程进步。凭借技术优越的组件，机器人采用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，配合零背隙的哈莫尼驱动®齿轮，极大地提高了灵活性和精度。
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