Logosol,LPA68EH-3,独立边缘处理晶圆预对准器,晶圆寻边台

Logosol,LPA68EH-3,独立边缘处理晶圆预对准器,晶圆寻边台,描述,适用于两种晶圆尺寸，边缘接触区小于1mm,对准能力：标准150mm和200mm晶圆,透明及半透明基板,主体：LPA58,接口入口：侧面（可选底部）

可靠的运动性能，独立式边缘处理晶圆预对准器，LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58
适用于两种晶圆尺寸的边缘处理预对准器，边缘接触区域小于1毫米。
对准能力：标准150毫米和200毫米晶圆，透明和半透明基板。
机身：LPA58
接口入口：侧面（可选底部）。

规格：

晶圆直径：150毫米、200毫米
晶圆透明度：透明、半透明、不透明
方形基板：不适用
晶圆处理：边缘处理
中心精度（3 Sigma）：±35微米（预对准器吸盘上）
角度精度（3 Sigma）：
- 10000 CPR 编码器：±0.07°（预对准器吸盘上）
- 24000 CPR 编码器：±0.04°（预对准器吸盘上）
电机轴：三个
主机通信：RS232、以太网
最大初始晶圆偏移：6毫米
机身尺寸（宽 x 长 x 高）：173毫米 x 267毫米 x 190毫米
占地面积兼容性：LPA26-3、LPA58-3、LPA38-3、LPA4EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3
重量：5.30千克
所需设施：100-240VAC、50/60Hz、48VA，或24VDC/2A
平面/凹槽兼容性：符合SEMI标准
清洁度：Class 1
平均无故障时间（MTBF）：超过70000小时