Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),预对准器,描述：独立边缘处理预对准器，适用于300mm晶圆,边缘处理预对准器，适用于300mm晶圆
对准能力：标准300mm晶圆
300mm TAIKO晶圆
接触区：边缘接触，接触宽度为1mm
针脚配置：
标准配置：提供最均匀的晶圆支撑
C型（交叉）配置：为较厚的末端效应器提供空间，并能从三个侧面均匀接触
与上一代边缘处理预对准器相比，两种配置能够容忍更大的初始偏移量（最多可达6mm）
美国,Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),独立边缘处理预对准器规格：
美国,Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),独立边缘处理预对准器尺寸（inch/mm）:
https://www.bihec.com/logosol/LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C)/
https://www.bilibili.com/opus/1007391631627780151
