Logosol LPA312-3,Logosol 独立式晶圆预对准器,Logosol进口代理

Logosol LPA312-3,Logosol 独立式晶圆预对准器,Logosol进口代理,创新、高性能的一体化设计，无需外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时响应。

可靠的运动性能，独立式晶圆预对准器，LPA312-3

先进的扫描电子技术，能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同尺寸晶圆之间进行机械重新定位。
运动控制软件具备一系列常用命令，兼容多种半导体平台并实现接口对接。
典型对准周期少于四秒，有助于实现最大系统吞吐量。

LPA312-3 规格

• 晶圆直径：3英寸、100毫米、125毫米、150毫米、200毫米、300毫米
• 晶圆透明度：透明、半透明、不透明
• 方形基板：适用
• 晶圆处理：真空吸盘和针
• 中心精度：±25微米（预对准器吸盘上）
• 角度精度（3 Sigma）：
  • 10000 CPR 编码器：±0.04°（预对准器吸盘上）
  • 24000 CPR 编码器：±0.02°（预对准器吸盘上）
• 伺服轴：三个
• 主机通信：RS232、以太网
• 最大初始晶圆偏移：12毫米
• 机身尺寸（宽 x 长 x 高）：173毫米 x 317毫米 x 190毫米
• 占地面积兼容性：LPA812-3、LPA1218-3、LPA8ET-3、LPA12ET-3
• 重量：5.50千克
• 所需设施：100-240VAC、50/60Hz、48VA，或24VDC/2A，真空12英寸汞柱
• 平面/凹槽兼容性：符合SEMI标准
• 清洁度：Class 1
• 平均无故障时间（MTBF）：超过70000小时

LPA312-3 总体尺寸：

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