Logosol LPA312-3晶圆预对准器特征：
-创新型高性能一体化设计，省去了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性
-采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、快速响应
-先进的扫描电子系统可在无需机械重新定位的情况下，检测透明、半透明及不透明物体，适用于不同尺寸的晶圆
-运动控制软件配备一整套常用指令，支持与多种半导体平台的兼容与接口连接
-典型对准周期小于四秒，有助于实现系统吞吐量最大化
晶圆直径：3 英寸、100mm、125mm、150mm、200mm、300mm
晶圆透光性：透明、半透明、不透明
方形基片：适用
晶圆搬运方式：真空吸盘和定位销
居中精度：±25μm（在预对准器卡盘上）
角度精度（3σ）：10000 CPR 编码器：±0.04°（在预对准器卡盘上）
24000 CPR 编码器：±0.02°（在预对准器卡盘上）
伺服轴数：三轴
主机通信方式：RS232，以太网
晶圆最大初始偏移量：12mm
设备尺寸（宽 × 长 × 高）：173mm × 317mm × 190mm
兼容安装尺寸：LPA812-3、LPA1218-3、LPA8ET-3、LPA12ET-3
重量：5.50kg
所需设施条件：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A
真空：12 英寸汞柱
对位槽 / 缺口兼容性：符合 SEMI 标准
洁净度等级：Class 1（一级洁净标准）
平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时
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