Logosol,高升降行程机器人,diamond H3,晶圆机器人,晶圆机械手,Diamond H3 系列大气机器人代表了晶圆处理设备设计和可靠性方面的重大工程进步。 得益于技术上更为先进的组件，这些机器人采用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，并配合零回程的 Harmonic Drive® 齿轮，以实现显著增强的灵活性和精度。
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