Logosol预对准器LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V,300mm晶圆预对准器,logosol晶圆寻边台,logosol aligner,logosol晶圆机械手
运动中的可靠性
Logosol预对准器LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V描述：
LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C)
适用于300mm晶圆的边缘处理预对准器
对准能力：标准300mm晶圆
300mm TAIKO晶圆
接触区域：边缘接触，接触点宽度1mm
销钉配置：
标准配置：为晶圆提供最均匀的支撑
C（交叉）配置：为更厚末端执行器提供空间，并可从三侧平等接触
两种配置相比前代边缘处理预对准器，可容忍更大的晶圆初始偏移（最大6mm）
Logosol预对准器LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V规格：
基板类型：300mm晶圆、300mm TAIKO晶圆
晶圆透光性：透明、半透明、不透明
方形基板：不适用
基板处理方式：边缘接触式
对心精度（3 Sigma）：±35μm
角度精度（3 Sigma）：10000 CPR编码器：±0.07°
24000 CPR编码器：±0.04°
电机轴数：3轴
主机通信接口：RS232、以太网
最大初始偏移量：6mm
机身尺寸（宽×长×高）：309mm × 368mm × 206mm
重量：6.40kg
电源要求：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A
平边/凹槽兼容性：晶圆凹槽、平边，符合SEMI标准
洁净等级：Class 1
平均无故障时间（MTBF）：超过70000小时
Logosol预对准器LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE 尺寸：
单位inch/mm
Logosol预对准器PA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-C 尺寸：
单位inch/mm
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