Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P预对准器特征：
-创新型高性能一体化设计，无需外部控制器和连接线缆，同时保持可直接替换的兼容性
-采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时响应
-先进的扫描电子系统，无需机械调整即可检测透明、半透明和不透明的物体，适用于不同尺寸晶圆
-运动控制软件支持常用指令集，便于与多种半导体平台兼容与对接
-典型对准周期小于 4 秒，有助于实现系统的最大吞吐量
Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P预对准器规格：
晶圆直径：3”, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm
晶圆不透明度：透明，半透明，不透明
方形基片：适用
晶圆搬运：真空卡盘和销钉
居中精度：±25um 在预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 编码器 ：±0.04° 在预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器 ：±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴：3
主机通信：RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移：12mm
外形尺寸（宽 × 长 × 高）：173mm x 317mm x 190mm
占地兼容性：LPA812-3, LPA1218-3 LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量：5.50kg
所需设施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A Vacuum 12″ Hg
切边/缺口兼容性：符合SEMI标准
洁净度：Class 1
平均无故障时间MTBF：超过 70000小时
Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P预对准器一般尺寸规格：
https://www.bihec.com/logosol/Logosol进口代理,晶圆预对准器,LPA312-3系列,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P /
