Logosol晶圆校准器,LPA312-3晶圆预对准器特征：
-创新型高性能一体化设计，无需外部控制器和连接线缆，同时保持可直接替换的兼容性
-采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时响应
-先进的扫描电子系统，无需机械调整即可检测透明、半透明和不透明的物体，适用于不同尺寸晶圆
-运动控制软件支持常用指令集，便于与多种半导体平台兼容与对接
-典型对准周期小于 4 秒，有助于实现系统的最大吞吐量
Logosol晶圆校准器,LPA312-3晶圆预对准器规格：
晶圆直径:3”, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm
晶圆不透明度:透明，半透明，不透明
方形基片:适用
晶圆搬运:真空卡盘和销钉
居中精度:±25um 在预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma):
10000 CPR 编码器:±0.04° 在预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器:±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴:3
主机通信:RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移:12mm
外形尺寸（宽 × 长 × 高）:173mm x 317mm x 190mm
占地兼容性:LPA812-3, LPA1218-3,LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量:5.50kg
所需设施:100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A
真空：12 英寸汞柱（Hg）
切边/缺口兼容性:符合SEMI标准
洁净度:Class 1
平均无故障时间MTBF:超过 70000小时
Logosol晶圆校准器,LPA312-3晶圆预对准器一般尺寸规格尺寸：
https://www.bihec.com/logosol/Logosol晶圆校准器,LPA312-3晶圆预对准器,LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P-CT06 /
