Logosol,晶圆机器人,晶圆机械手,Diamond,H4,晶圆处理平台 DiamondH4系列双臂大气机器人 Diamond H4 系列双臂大气机器人代表了晶圆处理设备设计和可靠性方面的重大工程进步。 两个独立的臂（R1 和 R2）连接到一个共同的旋转轴（T），可以实现快速交换或同时转移两个晶圆。
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