Logosol寻边器,LPA812-3独立式晶圆预对准器,LPA812-3-V76P1-S23-S-V500P-NE

创新的高性能一体化设计，取消了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性

采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应先进的扫描电子技术可在无需机械重新定位的情况下，检测透明、半透明和不透明的物体，适用于不同尺寸的晶圆

运动控制软件具备一整套常用指令，支持与多种半导体平台的兼容与接口连接

典型的对准周期小于四秒，有助于实现系统最大吞吐量

Logosol,LPA812-3 独立式晶圆预对准器规格：

晶圆直径:200mm, 300mm

晶圆不透明度:透明、半透明、不透明

方形基片:适用的

晶圆搬运:真空卡盘和定位销

居中精度:预对准器卡盘上的精度为 ±25微米

角度精度 (3 Sigma) :

10000 CPR 编码器:预对准器卡盘上的精度为 ±0.04°

24000 CPR 编码器: 预对准器卡盘上的精度为 ±0.02°

伺服轴:三

主机通信:RS232，以太网

最大初始晶圆偏移:12mm

外形尺寸（宽 × 长 × 高）:173mm x 317mm x 190mm

占地兼容性:

重量:5.40kg

所需设施:100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A 真空：12 英寸汞柱（Hg)

切边/缺口兼容性:符合 SEMI 标准

洁净度:Class 1

平均无故障时间MTBF:超过7万小时

Logosol进口代理,晶圆预对准器,LPA312-3系列,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P