Logosol寻边台,LPA812-3对准器特征：
-创新型高性能一体化设计，省去了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性
-采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、快速响应
-先进的扫描电子系统可在无需机械重新定位的情况下，检测透明、半透明及不透明物体，适用于不同尺寸的晶圆
-运动控制软件包含一整套常用指令，支持与多种半导体平台的兼容与接口连接
-典型对准周期小于四秒，有助于实现系统吞吐量最大化
晶圆直径:200mm，300mm
晶圆透光性:透明、半透明、不透明
方形基片:适用
晶圆搬运方式:真空吸盘和定位销
居中精度:±25μm（在预对准器卡盘上）
角度精度（3σ）:10000 CPR 编码器：±0.04°（在预对准器卡盘上）
24000 CPR 编码器：±0.02°（在预对准器卡盘上）
伺服轴数:三轴
主机通信方式:RS232，以太网
晶圆最大初始偏移量:12mm
设备尺寸（宽 × 长 × 高）:173mm × 317mm × 190mm
兼容安装尺寸:LPA312-3，LPA1218-3，LPA8ET-3，LPA12ET-3
重量:5.40kg
所需设施条件:100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A；真空 12″ Hg
对位槽 / 缺口兼容性:符合 SEMI 标准
洁净度等级:Class 1（一级洁净标准）
平均无故障时间（MTBF）:超过 70,000 小时
