美国,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,独立边缘处理预对准器描述：
独立边缘处理预对准器，适用于150mm晶圆
减小接触的边缘处理预对准器，适用于150mm晶圆
对准能力：标准150mm晶圆，150mm平晶圆，透明及半透明基板
接触区：边缘接触，接触宽度为1mm
减小接触的边缘处理预对准器能够容忍更大的初始偏移量（最多可达6mm）
美国,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,独立边缘处理预对准器规格：
美国,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,独立边缘处理预对准器尺寸（inch/mm）：
美国,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,独立边缘处理预对准器
https://www.bihec.com/logosol/LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE/
https://www.bilibili.com/opus/1007391631627780151
