型号：LPA26-3,LPA38-3,LPA58-3,LPA312-3,LPA812-3,LPA1218-3
LPA26-3特征
创新型高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用兼容性
由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时响应
先进的扫描电子系统能够在无需在不同晶圆尺寸间进行机械重新定位的情况下，检测透明、半透明和不透明物体
运动控制软件具备全面的常用指令集，可实现与多种半导体平台的兼容和接口
典型对准周期时间小于四秒，有助于实现系统最大吞吐量
LPA26-3 规格
晶圆直径：2″, 3″, 100mm, 125mm, 150mm
晶圆不透明度：透明、半透明、不透明
方形基板：适用的
晶圆处理：真空吸盘与定位针
居中精度：±25um 预对准夹具上
角度精度 (3 Sigma)
10000 CPR 编码器：±0.04° 预对准夹具上
24000 CPR 编码器：±0.02° 预对准夹具上
伺服轴：三
主机通信：RS232， 以太网
晶圆最大初始偏移量：10mm (6mm for 2寸晶圆
机身尺寸 (W x L x H)：173mm x 267mm x 190mm
占地兼容性：LPA38-3, LPA58-3,LPA4EH-3, LPA5EH-3, LPA6EH-3, LPA8EH-3
重量:5千克
所需设施:100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2AVacuum 12″ Hg
平面/缺口兼容性:符合 SEMI 标准
清洁度:Class 1
平均无故障时间:超过 70000 小时
LPA26-3整体尺寸
LPA38-3特征
创新的高性能一体化设计，省去了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用兼容性
由超低惯量无刷电机驱动，实现平滑且即时响应
先进的扫描电子系统，可检测透明、半透明和不透明物体，并且在不同晶圆尺寸之间无需进行机械重新定位
运动控制软件提供一整套常用指令，可实现与多种半导体平台的兼容与接口连接
典型对准周期时间小于 4 秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA38-3 规格
晶圆尺寸：3″, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm
晶圆透光性：透明，半透明，不透明
方形基板：适用
晶圆处理方式：真空吸盘和定位销
居中精度：±25um 在预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)
10000 CPR 编码器：±0.04° 在预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器：±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴数：三轴
主机通信接口：RS232, Ethernet
最大初始晶圆偏移：12mm
机身尺寸（宽 × 长 × 高）：173mm x 267mm x 190mm
占地兼容性：LPA26-3, LPA58-3,LPA4EH-3, LPA5EH-3, LPA6EH-3, LPA8EH-3
重量:5.00kg
所需设施/电源:100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA，或24 VDC / 2 A，真空度：12″ Hg（12 英寸汞柱）
平边/缺口兼容性:符合 SEMI 标准
洁净度等级:Class 1
平均无故障时间:超过 70,000 小时
LPA38-3 一般尺寸
LPA58-3特征
创新型高性能一体化设计，在保持可直接替换兼容性的同时，省去了外部控制器和连接电缆
由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子技术能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测透明、半透明和不透明物体
运动控制软件具备全面的常用指令集，可与多种半导体平台兼容并实现接口对接
典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA58-3技术规格
晶圆直径：125mm, 150mm, 200mm
晶圆不透明度：透明、半透明、不透明
方形基板：适用
晶圆处理：真空吸盘和定位销
中心对准精度：±25um 预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)
10000 CPR 编码器：±0.04° 预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器：±0.02° 预对准器吸盘上
伺服轴：三轴
主机通信：RS232，以太网
最大初始晶圆偏移：12mm
外形尺寸 (W x L x H)：173mm x 267mm x 190mm
外形兼容性:LPA26-3, LPA38-3,LPA4EH-3, LPA5EH-3, LPA6EH-3, LPA8EH-3
重量:5.00kg
所需设施:100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A真空 12″ Hg
平面/缺口兼容性:符合SEMI标准
清洁度:1级
平均故障间隔时间（MTBF）:超过 70000 小时
LPA58-3 一般尺寸
LPA312-3特征
创新型高性能一体化设计，无需外部控制器和连接线缆，同时保持可直接替换的兼容性
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时响应
先进的扫描电子系统，无需机械调整即可检测透明、半透明和不透明的物体，适用于不同尺寸晶圆
运动控制软件支持常用指令集，便于与多种半导体平台兼容与对接
典型对准周期小于 4 秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA312-3 规格
晶圆直径：3”, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm
晶圆不透明度：透明，半透明，不透明
方形基片：适用
晶圆搬运：真空卡盘和销钉
居中精度：±25um 在预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)
10000 CPR 编码器：±0.04° 在预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器：±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴：3
主机通信：RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移：12mm
外形尺寸（宽 × 长 × 高）：173mm x 317mm x 190mm
占地兼容性：LPA812-3, LPA1218-3，LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量：5.50kg
所需设施：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A真空：12 英寸汞柱（Hg）
切边/缺口兼容性：符合SEMI标准
洁净度：Class 1
平均无故障时间MTBF ：超过70000小时
LPA312-3 一般尺寸
LPA812-3特征
创新的高性能一体化设计，取消了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应
先进的扫描电子技术可在无需机械重新定位的情况下，检测透明、半透明和不透明的物体，适用于不同尺寸的晶圆
运动控制软件具备一整套常用指令，支持与多种半导体平台的兼容与接口连接
典型的对准周期小于四秒，有助于实现系统最大吞吐量
LPA812-3 规格
晶圆直径：200mm, 300mm
晶圆不透明度：透明、半透明、不透明
方形基片：适用的
晶圆搬运：真空卡盘和定位销
居中精度：预对准器卡盘上的精度为 ±25微米
角度精度 (3 Sigma)
10000 CPR 编码器：预对准器卡盘上的精度为 ±0.04°
24000 CPR 编码器：预对准器卡盘上的精度为 ±0.02°
伺服轴：三
主机通信：RS232，以太网
最大初始晶圆偏移：12mm
外形尺寸（宽 × 长 × 高）：173mm x 317mm x 190mm
占地兼容性：LPA312-3, LPA1218-3，LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量：5.40kg
所需设施：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A 真空：12 英寸汞柱（Hg）
切边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准
洁净度：Class 1
平均无故障时间MTBF：超过7万小时
LPA812-3 一般尺寸
LPA1218-3特征
创新型高性能一体化设计，消除了外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用兼容性。
由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、瞬时响应。
先进的扫描电子系统能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测透明、半透明及不透明物体。
运动控制软件具备全面的常用命令集，可与多种半导体平台兼容并实现接口对接。
典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA1218-3 规格
晶圆直径：300mm to 320mm, 450 to 470mm
晶圆不透明度：透明，半透明，不透明
方形基片：适用
晶圆搬运：真空卡盘和销钉
居中精度：±25um 在预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 编码器：不适用
24000 CPR 编码器：±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴：3
主机通讯：RS232, 以太网
最大初始晶圆偏移：12mm
外形尺寸 (W x L x H)：173mm x 404mm x 190mm
占地兼容性：LPA312-3, LPA812-3，LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量：5.70kg
所需设施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A真空 12″ Hg
切边/缺口兼容性：符合SEMI标准
洁净度：Class 1
平均无故障时间MTBF：超过70000小时
LPA1218-3一般尺寸
