美国,Logosol,LPA38-3,独立晶圆预对准器

采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、瞬时响应。
先进的扫描电子技术能够检测透明、半透明和不透明的物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
运动控制软件具有一套全面的常用命令，确保与各种半导体平台的兼容性和接口。
典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现最大系统吞吐量。