美国,Logosol,LPA26-3,独立式晶圆预对准器，创新的高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持了与现有系统的兼容性。采用超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应。
先进的扫描电子技术能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位，检测透明、半透明和不透明物体。运动控制软件具有一整套常用命令，支持与多种半导体平台的兼容和接口。
典型对准周期时间少于四秒，有助于实现最大系统吞吐量。
美国,Logosol,LPA26-3,独立式晶圆预对准器规格：
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