美国,Logosol,LPA系列,晶圆预对准器

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扫描电子设备、运动控制器和电源集成在行业标准的占地面积内
由超低惯性无刷电动机驱动，确保平稳、即时响应
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明物体，无需机械重新定位即可适应不同尺寸
与晶圆搬运机器人无缝对接，支持从45mm到480mm的所有晶圆尺寸，以及相应的方形基板尺寸
Logosol控制软件提供全面的命令集，支持与多种半导体平台的兼容性和接口
快速的对准周期时间有助于实现最大系统吞吐量
可作为独立设备或与晶圆搬运机器人协同工作的嵌入式设备提供
保留选项包括真空、非真空和边缘搬运。