美国,Logosol,LPA系列,晶圆预对准器

美国,Logosol,LPA系列,晶圆预对准器,创新的高性能，符合 Class 1 标准，独特的一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持了与现有系统的兼容性。
扫描电子技术、运动控制器和电源集成在行业标准占地面积内。
采用超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子技术能够在不同尺寸之间无需机械重新定位，检测透明、半透明和不透明物体
与晶圆处理机器人无缝接口，支持从 45mm 到 480mm 的所有晶圆尺寸及相应尺寸的方形基板
Logosol 控制软件具备一整套命令，支持与多种半导体平台的兼容和接口
快速对准周期时间有助于实现最大系统吞吐量
可作为独立设备或嵌入设备与晶圆处理机器人共同工作
保留选项包括真空、非真空和边缘处理