美国,Logosol,DIAMOND H1,晶圆处理机器人

美国,Logosol,DIAMOND H1,晶圆处理机器人,Diamond 系列大气机器人在晶圆处理设备的设计和可靠性方面代表了显著的工程进步。
凭借技术优越的组件，机器人采用超低惯性、高响应的无刷伺服电机，配合零背隙的哈莫尼驱动®齿轮，极大地提高了灵活性和精度。
创新的全合一、符合 Class 1 无尘室标准的设计，将运动控制器、伺服放大器和电源集成在机器人行业标准的占地面积内。
高强度结构件使得机器人可以进行顶部、底部或侧面安装配置，而不会影响系统的刚性。
32 位实时内核提供精确的运动轨迹控制，沿着平滑的连续轨迹运行，而分布式控制架构允许与线性轨道、预对准器和其他子组件的无缝集成。
支持网络连接的 RS-485 和以太网接口，补充了标准的 RS-232 接口和教学挂件连接。
强大的本地晶圆处理和脚本语言有助于快速开发软件，将机器人嵌入到 OEM 应用环境中。
全面模拟传统机器人“宏”命令，实现与各种现有半导体工具的即插即用兼容。

美国,Logosol,DIAMOND H1,晶圆处理机器人特征：

优秀的结构刚性
模块化和高度可定制化设计
臂长范围：10.50 英寸和 14.40 英寸
垂直行程高达 7 英寸
完全集成的运动控制器、伺服放大器和电源
高响应无刷电机和精确的零背隙哈莫尼驱动®齿轮
可选绝对编码器，消除初始归位程序
支持径向和直线设备的放置
与预对准器、线性轨道和其他外部组件的无缝集成
标准的 RS-232 接口和以太网（Telnet）接口与主机计算机连接
先进的 32 位实时运动控制内核
强大的晶圆处理固件
全面的软件工具和实用程序
模拟传统机器人宏命令的软件
可选教学挂件终端
通用数字输入输出端口供定制使用
符合 Class 1 无尘室环境要求
可靠性 – 平均故障间隔时间（MTBF）> 60,000 小时，（MCBF > 10,000,000 次循环）

美国,Logosol,DIAMOND H1,晶圆处理机器人规格：

晶圆尺寸
2” (50mm) 至 12” (300mm)
负载
2.2 lbs (1.0 kg)
编码器
增量式，10000 脉冲/转
电机类型
无刷，低惯性高响应
重量
40.7 lbs (18.5 kg)（7”垂直行程，5.25”x5.25” 臂长）
工作温度
50°F – 104°F (10°C 至 40°C)
设施要求
电压范围
100-120VAC，200-240VAC
真空供应
11.8”Hg (-5.8psi) / 0.1CFM 气流