美国,Logosol,DIAMOND E5,真空电梯,晶圆处理机器人,运动范围：13.267英寸（337mm）从硬止点到硬止点,13.188英寸（335mm）可用跨度，具有软件限制
美国,Logosol,DIAMOND E5,真空电梯,晶圆处理机器人规格：
最大速度：8英寸/秒
最大加速度：12英寸/秒²
轴重复精度：+/‐ 0.001英寸（0.025mm）
晶圆尺寸：2英寸（50mm）至12英寸（300mm）
载荷：25公斤（55.1磅）
重量：21公斤（46.5磅）
洁净度等级：Class 1
基础真空度：最高可达1×10‐9 Torr
泄漏率：< 1×10‐9 std.cc/sec He
工作温度：
真空侧：最高100ºC（212ºF）
大气侧：10ºC ‐ 40ºC（50ºF ‐ 104ºF）
电机类型：无刷，低惯性，高响应
编码器类型：增量式，10000脉冲/转（电机轴）
设施要求：
电压范围：100‐120 VAC，200‐240 VAC
控制接口：LDCN机器人从设备（可串联RS‐232接口）
通用数字I/O
可选：智能设备，RS‐232和以太网（Telnet）接口
暴露于真空的材料：铝、不锈钢、波纹管（AM‐350 SST退火）
安装配置：
可定制法兰（显示为200mm底部安装法兰）
带内置控制器和电源的机身尺寸：
（无需外部控制器）：8.70” x 7.98” x 22.05” （221mm x 203mm x 560mm）
美国,Logosol,DIAMOND E5,真空电梯,晶圆处理机器人尺寸和运动范围：
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