代理Logosol,LPA25-1E ,LPA38-1E,LPA58-1E ,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E,LOGOSOL LPA预对准器进口代理

代理Logosol,LPA25-1E ,LPA38-1E,LPA58-1E ,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E,LOGOSOL LPA预对准器进口代理

Logosol的经过时间考验的技术和高可靠性标准是行业中最广泛的预对准器系列的基础。预对准器产品系列支持处理从45毫米到480毫米的对象，具有任何透明度水平，从不透明到完全透明。Logosol独特的一体化设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口。

Logosol LPA系列晶圆预对准器嵌入式:

用于高速晶圆传输系统的成本效益的中心计算和角度定位设备，具有45毫米至480毫米对象的对准能力，并可轻松与市场上可用的任何机器人进行集成。提供高精度和夹具尺寸/材料选项。

型号：LPA25-1E ,LPA38-1E,LPA58-1E ,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E

LPA25-1E描述：

LPA25-1E
创新型高性能一体化设计，省去了外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用的兼容性。
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应。
先进的扫描电子系统能够检测透明、半透明及不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械位置调整。
运动控制软件具备全面的常用指令集，可与多种半导体平台兼容并实现接口连接。
典型的对准循环时间少于四秒，有助于实现系统的最大产能。

LPA25-1E 规格参数:

• 晶圆直径：2″、3″、100 mm、125 mm

• 晶圆透光性：透明、半透明、不透明

• 方形基片：适用

• 晶圆处理方式：真空吸盘

• 居中精度：在预对准卡盘上 ±50 μm

• 角度精度（3 Sigma）：

  • 10000 CPR 编码器：在预对准卡盘上 ±0.06°

  • 24000 CPR 编码器：在预对准卡盘上 ±0.04°

• 伺服轴数：1

• 主机通讯：RS232、以太网（Ethernet）

• 最大初始晶圆偏移量：9 mm

• 本体尺寸（宽 × 长 × 高）：95 mm × 266 mm × 191 mm

• 兼容机型：LPA38-1E、LPA58-1E、LPA312-1E、LPA812-1E、LPA1218-1E

• 重量：3.40 kg

• 所需设施：100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA，或 24 VDC/2A

• 真空要求：12 英寸汞柱（12″ Hg）

• 晶圆平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准

• 洁净度等级：Class 1

• 平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时

LPA38-1E描述：

LPA38-1E创新型高性能一体化设计，取消了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳而快速的响应。
先进的扫描电子系统能够检测透明、半透明及不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
运动控制软件具备全面的常用指令集，可与多种半导体平台兼容并实现接口连接。
典型的对准循环时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量。

LPA38-1E 技术规格：

• 晶圆直径：3″、100mm、125mm、150mm、200mm

• 晶圆光学特性：透明、半透明、不透明

• 方形基板：适用

• 晶圆处理方式：真空吸盘

• 居中精度：在预对准卡盘上 ±50 μm

• 角度精度（3 Sigma）：

  • 10000 CPR 编码器：±0.06°（在预对准卡盘上）

  • 24000 CPR 编码器：±0.04°（在预对准卡盘上）

• 伺服轴数：1

• 主机通讯接口：RS232、以太网

• 最大初始晶圆偏移量：10 mm

• 机身尺寸（宽 × 长 × 高）：95 mm × 266 mm × 191 mm

• 安装兼容性：LPA25-1E、LPA58-1E、LPA312-1E、LPA812-1E、LPA1218-1E

• 重量：3.50 kg

• 所需设施：100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA，或 24 VDC / 2A

• 真空度：12″ Hg

• Flat/Notch 兼容性：符合 SEMI 标准

• 洁净等级：Class 1

• 平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时

LPA58-1E描述：

LPA58-1E创新的高性能一体化设计，取消了外部控制器和连接电缆，同时保持可直接替换的兼容性。

采用超低惯量无刷电机驱动，确保平稳且即时的响应。

先进的扫描电子系统能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。

运动控制软件具备全面的常用指令集，可实现与多种半导体平台的兼容和接口连接。

典型的对准循环时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量。

LPA58-1E 技术规格

• 晶圆直径：125mm、150mm、200mm

• 晶圆透光性：透明、半透明、不透明

• 方形基片：适用

• 晶圆处理方式：真空吸盘

• 居中精度：在预对准卡盘上 ±50μm

• 角度精度（3 Sigma）：

  • 使用 10000 CPR 编码器时为 ±0.06°

  • 使用 24000 CPR 编码器时为 ±0.04°

• 伺服轴数：1

• 主机通信接口：RS232，Ethernet

• 最大初始晶圆偏移量：10mm

• 机身尺寸（宽 × 长 × 高）：95mm × 266mm × 191mm

• 兼容机型：LPA25-1E、LPA38-1E、LPA312-1E、LPA812-1E、LPA1218-1E

• 重量：3.50kg

• 所需设施：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC/2A

• 真空要求：12 英寸汞柱（12″ Hg）

• Flat/Notch 兼容性：符合 SEMI 标准

• 洁净等级：Class 1

• 平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时

LPA312-1E描述：

LPA312-1E创新型高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应。
先进的扫描电子系统能够检测透明、半透明和不透明的晶圆，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
运动控制软件配备了一套常用指令集，确保与多种半导体平台的兼容性和接口互通。
典型的对准循环时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量。

LPA812-1E描述：

LPA812-1E创新型高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应。
先进的扫描电子系统能够检测透明、半透明和不透明的晶圆，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
运动控制软件配备了一套常用的指令集，确保与多种半导体平台的兼容性和接口互通。
典型的对准循环时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量。

LPA812-1E技术规格：

• 晶圆直径：200mm、300mm

• 晶圆透光性：透明、半透明、不透明

• 方形基板：适用

• 晶圆处理方式：真空吸盘

• 预对准卡盘中心精度：±50 µm

• 角度精度（3 Sigma）：

  • 10000 CPR 编码器：±0.06°

  • 24000 CPR 编码器：±0.04°

• 伺服轴数：1

• 主机通信接口：RS232、以太网（Ethernet）

• 最大初始晶圆偏移量：10 mm

• 机身尺寸（宽 × 长 × 高）：95 mm × 266 mm × 191 mm

• 安装兼容性：LPA25-1E、LPA38-1E、LPA58-1E、LPA312-1E、LPA1218-1E

• 重量：3.50 kg

• 所需设施：100–240VAC，50/60Hz，48VA 或 24VDC / 2A

• 真空要求：12″ Hg

• 晶圆平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准

• 洁净等级：Class 1

• 平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时

LPA1218-1E描述：

LPA1218-1E创新型高性能一体化设计，消除了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用的兼容性。
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应。
先进的扫描电子系统能够检测透明、半透明和不透明的晶圆，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位。
运动控制软件配备了一套常用指令集，确保与多种半导体平台的兼容性和接口互通。
典型的对准循环时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量。

LPA1218-1E技术规格：

• 晶圆直径：300–320mm，450–470mm

• 晶圆透光性：透明、半透明、不透明

• 方形基板：适用

• 晶圆处理方式：真空吸盘

• 预对准卡盘中心精度：±50 μm

• 角度精度（3 Sigma）：

  • 10000 CPR 编码器：不适用

  • 24000 CPR 编码器：±0.04°（在预对准卡盘上）

• 伺服轴数：1

• 主机通信接口：RS232、以太网（Ethernet）

• 最大初始晶圆偏移量：10 mm

• 机身尺寸（宽 × 长 × 高）：95 mm × 328 mm × 191 mm

• 安装兼容性：LPA25-1E、LPA38-1E、LPA58-1E、LPA312-1E、LPA812-1E

• 重量：3.50 kg

• 所需设施：100–240VAC，50/60Hz，48VA，或 24VDC / 2A

• 真空要求：12 英寸汞柱（12″ Hg）

• 晶圆平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准

• 洁净等级：Class 1

• 平均无故障时间（MTBF）：超过 70,000 小时

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