代理Logosol LPA58-3-V40P1-S23-B-V500P晶圆预对准器,isel晶圆校准器,isel LPA58-3
LPA58-3特征：
-创新型高性能一体化设计，在保持可直接替换兼容性的同时，省去了外部控制器和连接电缆
-由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
-先进的扫描电子技术能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测透明、半透明和不透明物体
-运动控制软件具备全面的常用指令集，可与多种半导体平台兼容并实现接口对接
-典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA58-3 技术规格：
晶圆直径：125mm, 150mm, 200mm
晶圆不透明度：透明、半透明、不透明
方形基板：适用
晶圆处理：真空吸盘和定位销
中心对准精度：±25um 预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 编码器：±0.04° 预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器：±0.02° 预对准器吸盘上
伺服轴：三轴
主机通信：RS232，以太网
最大初始晶圆偏移：12mm
外形尺寸 (W x L x H)：173mm x 267mm x 190mm
外形兼容性：LPA26-3, LPA38-3，LPA4EH-3, LPA5EH-3, LPA6EH-3, LPA8EH-3
重量：5.00kg
所需设施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A 真空 12″ Hg
平面/缺口兼容性：符合SEMI标准
清洁度：1级
平均故障间隔时间（MTBF）：超过 70000 小时
LPA58-3一般尺寸：
https://www.bihec.com/logosol/代理Logosol LPA58-3-V40P1-S23-B-V500P晶圆预对准器,isel晶圆校准器,isel LPA58-3/
