LPA38-3产品特征：
-创新的高性能一体化设计，省去了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用兼容性
-由超低惯量无刷电机驱动，实现平滑且即时响应
-先进的扫描电子系统，可检测透明、半透明和不透明物体，并且在不同晶圆尺寸之间无需进行机械重新定位
-运动控制软件提供一整套常用指令，可实现与多种半导体平台的兼容与接口连接
-典型对准周期时间小于 4 秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA38-3 规格：
晶圆尺寸：3″, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm
晶圆透光性：透明，半透明，不透明
方形基板：适用
晶圆处理方式：真空吸盘和定位销
居中精度：±25um 在预对准器吸盘上
角度精度 (3 Sigma)
10000 CPR 编码器：±0.04° 在预对准器吸盘上
24000 CPR 编码器：±0.02° 在预对准器吸盘上
伺服轴数：三轴
主机通信接口：RS232, Ethernet
最大初始晶圆偏移：12mm
机身尺寸（宽 × 长 × 高）：173mm x 267mm x 190mm
占地兼容性：LPA26-3, LPA58-3，LPA4EH-3, LPA5EH-3, LPA6EH-3, LPA8EH-3
重量：5.00kg
所需设施/电源：100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA，或24 VDC / 2 A，真空度：12″ Hg（12 英寸汞柱）
平边/缺口兼容性：符合 SEMI 标准
洁净度等级：Class 1
平均无故障时间：超过 70,000 小时
LPA38-3 一般尺寸：
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