LPA312-1E特征：
创新型高性能一体化设计，省去了外部控制器和连接电缆，同时保持即插即用兼容性
由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应
先进的扫描电子技术能够在不同晶圆尺寸之间无需机械重新定位即可检测透明、半透明和不透明物体
运动控制软件具备全面的常用指令集，支持与多种半导体平台的兼容性和接口连接
典型的对准周期时间少于四秒，有助于实现系统的最大吞吐量
LPA312-1E 技术规格:
晶圆直径：3”, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm
晶圆不透明度：透明、半透明、不透明
方形基板：适用的
晶圆处理：真空吸盘
中心对准精度：±50um 预对准吸盘上
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 编码器：±0.06° 预对准吸盘上
24000 CPR 编码器：±0.04° 预对准吸盘上
伺服轴：单轴
主机通信：RS232，以太网
最大初始晶圆偏移：10mm
机身尺寸 (W x L x H)：95mm x 266mm x 191mm
外形兼容性：LPA25-1E, LPA38-1E, LPA58-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E
重量：3.50kg
所需设施：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A，真空 12″ Hg
平面/缺口兼容性：符合SEMI标准
清洁度：Class 1
平均故障间隔时间（MTBF）：超过 70000 小时
LPA312-1E一般尺寸：
https://www.bihec.com/logosol/代理Logosol LPA312-1E-V40P1-S23-S晶圆预对准器,isel寻边台,晶圆校准器,isel LPA312-1E/
