美国LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圆预对准器,寻边台

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LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500特点:

创新一体化设计,无需外部控制器和连接线缆,同时保持即插即用兼容性

→ 采用超低惯量无刷电机驱动,响应快速平稳。

→ 先进的扫描电子元件可检测透明半透明不透明物体,无需根据不同晶圆尺寸机械调整位置。

运动控制软件集成多种常用指令,兼容多种半导体平台接口。

→ 典型对准周期低于4秒,助力实现最大系统吞吐量。

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圆预对准器尺寸:

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圆预对准器规格:

 

 


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