美国Logosol LPA68EH-3 边缘处理预对准仪 LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58
创新的自主设备，采用零抓取力的无源边缘接触，这是 Logosol 边缘抓取预对准技术的替代方案，可确保无晶圆应力和最大的清洁度，用于处理 75 毫米 – 300 毫米的物体。标准和高精度型号。
LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
用于150毫米晶圆的减少接触边缘处理预对准器
对准能力:标准150毫米晶圆150毫米平面、透明和半透明基板
接触区:边缘接触，点宽1毫米
减少接触边缘处理预对准器可以容忍交付晶圆的较大初始偏移(高达6毫米)
