美国Logosol 晶圆预对准器采用零抓取力的无源边缘接触 LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58

Logosol边缘处理预对准器

创新的自主设备，采用零夹持力的被动边缘接触技术，是Logosol边缘夹持预对准器技术的替代方案，确保在处理75毫米至300毫米对象时，晶圆不受应力影响，保持最大的清洁度。提供标准和高精度型号。

高吞吐量的预对准器，具有基于专有设计的快速更换功能，允许在销针水平以下进行晶圆夹具装载。