Logosol 晶圆处理平台包含源自 30 多年半导体自动化经验的各种产品和服务。技术范围从硬件、软件和机械设计到制造、集成和应用工程。该公司与晶圆处理机器人和预对准器相关的设计解决了半导体晶圆厂中需要直接替换传统产品的应用，以及 OEM 制造商新开发的资本设备中的自动化材料处理。这些产品线采用了 Logosol 完全拥有和控制的技术，包括运动控制电子、晶圆处理固件、软件工具、实用程序和机械设计。整个技术范围的可用性允许极高水平的无缝集成、可制造性、可靠性和成本效益。
机器人许可
Logosol 长期以来一直将其用于晶圆处理自动化的专有技术授权给各种实体。这些产品包括各种机器人尺寸和手臂配置，作为灵活的模块化自动化平台的一部分。被许可方受益于公司在半导体自动化方面的广泛专业知识、经过验证的产品和解决方案，以及在该领域 30+ 年的专业知识。我们公司提供全面且高度可定制的统一技术，涵盖您项目的各个方面，从机械设计到运动控制电子设备、固件、软件工具和实用程序。无论您需要简单还是复杂的解决方案，我们都可以定制我们的技术以满足您的特定要求。您将可以完全控制您的项目，而无需依赖第三方添加。我们的技术设计灵活、可扩展且可靠，可确保高性能和高质量标准。该公司不仅提供制造许可证和文档，还提供构建整个产品所需的机器人控制器、电源和特定电子模块。此外，Logosol 提供最全面的晶圆预对准器系列，可与所有获得许可的晶圆处理机器人无缝集成。
机器人控制器
LRC-x31g3 是三轴、四轴和五轴机器人控制器，带有集成的 CPU 板和功率放大器，专为需要精确控制旋转或线性无刷电机的应用而设计。它们可以用作内置控制器或外部控制器。LRC-x31g3 通过主机 RS-232 或 10/100 Base-T 以太网接口进行控制。其他外部设备可以使用 Logosol 分布式控制网络扩展接口无缝连接。LRC-x31g3 配备了各种安全功能，例如输出和电机短路保护、欠压关闭和编码器存在控制、智能停止功能，以避免在机器外部停止或断开电源时机械臂掉落。先进的运动控制技术支持非常高分辨率的编码器，可实现卓越的多轴轨迹生成。硬件辅助位置锁定在用于动态晶圆对准时提高了精度。
运动控制框架
MCL5 是 Logosol 专有运动控制软件包的第五代产品，提供特定领域的编程语言和多任务实时解释器。这是一个专用于设计机器人控制应用程序的编程框架。MCL5 可执行文件包括运动控制器和 I/O 模块的集成、各种机器人运动学的实现、对复杂轨迹运动的支持以及系统完整性的监控。该可执行文件还包括一个实时多任务脚本解释器。它允许设计特定于应用程序的脚本，这些脚本可用于协调机器人运动的排序并实施自定义主机通信协议。脚本语言由一组保留字定义，并且具有类似于 C 编程语言中的表达式语法。
