logosol LPA812-3对准器
Logosol Aligner晶圆预对准产品采用经行业验证的可靠技术，由此打造出全行业型号最完备的产品线。Logosol Aligner支持45毫米至480毫米工件的精准处理，无论材质透明度（包括全 opaque 不透明至 fully transparent 全透明）。其独创的一体化设计搭配多功能控制软件，可实现”即插即用”的兼容性，轻松对接各类半导体设备平台。
logosol LPA812-3对准器主要特征：
创新、高性能、与Class 1兼容
独特的一体化设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持即插即用兼容性
扫描电子设备、运动控制器和电源均包含在行业标准尺寸内
由超低惯性无刷电机驱动，响应平稳、即时
先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同尺寸之间进行机械重新定位
与晶圆处理机器人无缝接口，支持从45毫米到480毫米的所有晶圆尺寸，以及相应的方形基板尺寸
Logosol控制软件具有全面的命令集，能够与各种半导体平台兼容并接口
快速对准周期时间有助于实现最大系统吞吐量
可作为独立设备或嵌入式设备提供，与晶圆处理机器人配合使用
保持选项包括真空、非真空和边缘处理
