Logosol LPA812-3对准器,LPA812-3 独立式预对准器,Logosol Aligner晶圆预对准,Logosol预对准器

Logosol Aligner预对准器产品采用经行业验证的可靠技术,由此打造出全行业型号最完备的产品线。Logosol Aligner支持45毫米至480毫米工件的精准处理,无论材质透明度(包括全 opaque 不透明至 fully transparent 全透明)。其独创的一体化设计搭配多功能控制软件,可实现”即插即用“的兼容性,轻松对接各类半导体设备平台。

Logosol LPA812-3对准器主要特征:

创新的高性能一体化设计消除了外部控制器和互连电缆,同时保持了插拔兼容性。

采用超低惯性无刷电机驱动,响应平稳迅速。

先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明物体,无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重定位。

运动控制软件具备一套全面的常用命令,可与各种半导体平台兼容并进行接口连接。

典型的对准周期时间少于四秒,有助于实现最大系统吞吐量

Logosol LPA812-3对准器技术参数:

LPA812-3_Brochure


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