Logosol LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58晶圆预对准器,边缘处理
Logosol边缘处理预对准器
创新的自主设备，采用零夹持力的被动边缘接触技术，是Logosol边缘夹持预对准器技术的替代方案，确保在处理75毫米至300毫米对象时，晶圆不受应力影响，保持最大的清洁度。提供标准和高精度型号。
高吞吐量的预对准器，具有基于专有设计的快速更换功能，允许在销针水平以下进行晶圆夹具装载。
Logosol预对准器选型：
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高吞吐量的预对准器，具有基于专有设计的快速更换功能，允许在销针水平以下进行晶圆夹具装载。