LOGOSOL LPA58-3-V40P1-S23-B-V500P 晶圆预对准器

LOGOSOL LPA58-3-V40P1-S23-B-V500P 晶圆预对准器

Logosol, Inc. 是一家精密运动自动化设计公司，开发和制造最先进的运动控制组件和系统用于工业自动化。Logosol 专注于设计和开发具有高度集成、卓越可靠性和性能、软件复杂性和无与伦比的多功能性的完整解决方案。

LOGOSOL预对准器主要部件： 

Chuck（卡盘）: 用于吸附和固定晶圆。

Horse-shoe end effector（马蹄形末端执行器）: 机械手的手臂末端，负责从上一个位置取放晶圆到预对准器上。其马蹄形状是为了避开晶圆边缘的传感器。

Pins（销针）: 一组可以升降的针，用于在交接过程中托起或降低晶圆。

各个位置: 如 Wafer Scan Position（晶圆扫描位置）、Transfer From Chuck Position（从卡盘传输位置）、Transfer UP position(传输顶部位置)、Pins Position(销针位置)、Transfer down position(传输底部位置)，代表了晶圆在不同步骤中所处的精确位置。

LOGOSOL LPA58-3-V40P1-S23-B-V500P 晶圆预对准器规格：

LOGOSOL LPA58-3-V40P1-S23-B-V500P 晶圆预对准器尺寸规格：