Logosol Aligner预对准器产品采用经行业验证的可靠技术,由此打造出全行业型号最完备的产品线。Logosol Aligner支持45毫米至480毫米工件的精准处理,无论材质透明度(包括全 opaque 不透明至 fully transparent 全透明)。其独创的一体化设计搭配多功能控制软件,可实现”即插即用”的兼容性,轻松对接各类半导体设备平台。
专为45mm至480mm工件(含方形及双层基板)的高精度对准而设计的自主化设备,具备以下特性:
单机兼容多尺寸工件处理,无需机械重定位
支持吸盘装载与针式装载双模式
可选配超高精度对准模块
嵌入式预对准系统
专为高速晶圆传输系统设计的低成本中心计算与角度定向装置,具有以下核心优势:
支持45-480mm工件的精准对准
可兼容市场上所有主流机械手臂,集成便捷
提供高精度选配模块及多种吸盘尺寸/材质方案
寻边器, 边缘接触式预对准系统
采用革命性被动边缘接触技术(零夹持力),作为传统边缘夹持预对准技术的革新解决方案,具有以下显著优势:
无晶圆应力:彻底消除传统夹持方式导致的微应力损伤
极致洁净:满足Class 1洁净室标准(可定制更高等级)
广泛兼容:支持75mm至300mm晶圆/基板处理
双版本可选:标准版(±50μm)|高精度版(±10μm)
快速交换预对准系统
基于专利设计的高吞吐量预对准解决方案,具备突破性的快速交换功能:
定制化预对准器
罗戈索尔全系列预对准器产品均基于自主研发的完整技术体系,涵盖:
硅基设计与机械结构开发
运动控制算法及软件系统
凭借30年行业经验积累,我们已为各类应用场景开发过众多预对准解决方案。对于标准型号无法满足的特殊需求,可提供全方位定制服务,包括:
▶ 非标尺寸/材料适配
▶ 特殊精度要求实现
▶ 特定产线集成方案
Logosol Aligner预对准器订货指南: