LOGOSOL 独立式晶圆预对准器
型号：LPA812-3
产品特点
创新、高性能的一体化设计，取消了外部控制器和连接电缆，同时保持可直接替换（drop-in compatibility）的兼容性
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应
先进的扫描电子技术，可检测透明、半透明和不透明晶圆，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件提供一套全面的常用指令，易于与多种半导体平台兼容和接口
典型对准周期小于 4 秒，有助于实现最大系统吞吐量
技术规格
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 适用晶圆直径 | 200 mm、300 mm |
| 晶圆光学特性 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形衬底 | 可适用 |
| 晶圆夹持方式 | 真空吸附与定位针 |
| 居中精度 | ±25 μm（基于预对准器卡盘） |
| 角度精度（3σ） | |
| — 10000 CPR 编码器 | ±0.04°（基于预对准器卡盘） |
| — 24000 CPR 编码器 | ±0.02°（基于预对准器卡盘） |
| 伺服轴数 | 3 轴 |
| 主机通信 | RS232、Ethernet |
| 最大初始晶圆偏移 | 12 mm |
| 机体尺寸（宽×长×高） | 173 mm × 317 mm × 190 mm |
| 兼容占地型号 | LPA312-3、LPA1218-3、LPA8ET-3、LPA12ET-3 |
| 重量 | 5.40 kg |
| 供电要求 | 100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA，或 24 VDC/2A |
| 真空要求 | 12″ Hg |
| 缺口/平边兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净等级 | Class 1 |
| MTBF（平均无故障时间） | > 70,000 小时 |
