LOGOSOL 独立式晶圆预对准器
型号：LPA38-3
产品特点
采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳且即时的响应
典型对准周期小于 4 秒，有助于实现系统最大吞吐量
技术规格
| 参数 | 说明 |
|---|---|
| 适用晶圆直径 | 3″、100 mm、125 mm、150 mm、200 mm |
| 晶圆光学特性 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圆夹持方式 | 真空吸附 + 定位针（Pins） |
| 居中精度 | ±25 μm（基于预对准器卡盘） |
| 角度精度（3σ） | |
| — 10000 CPR 编码器 | ±0.04°（基于预对准器卡盘） |
| — 24000 CPR 编码器 | ±0.02°（基于预对准器卡盘） |
| 伺服轴数 | 3 轴 |
| 主机通信接口 | RS232、Ethernet |
| 最大初始晶圆偏移 | 12 mm |
| 机体尺寸（宽 × 长 × 高） | 173 mm × 267 mm × 190 mm |
| 占地兼容型号 | LPA26-3, LPA58-3, LPA4EH-3, LPA5EH-3, LPA6EH-3, LPA8EH-3 |
| 重量 | 5.00 kg |
| 供电要求 | 100–240 VAC, 50/60 Hz, 48 VA 或 24 VDC/2 A |
| 真空要求 | 12″ Hg |
| 平边/缺口兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净度等级 | Class 1 |
| MTBF（平均无故障时间） | > 70,000 小时 |
