LOGOSOL 独立式晶圆预对准器
型号：LPA312-3
产品特点
由超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、快速的动态响应
运动控制软件具有全面的常用指令集，可与多种半导体平台兼容
典型对准周期小于 4 秒，支持实现最大系统吞吐量
技术规格
| 参数 | 说明 |
|---|---|
| 适用晶圆直径 | 3″、100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm |
| 晶圆光学特性 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 支持 |
| 晶圆夹持方式 | 真空吸附 + 定位针 |
| 居中精度 | ±25 μm（基于预对准卡盘） |
| 角度精度（3σ） | |
| — 10000 CPR 编码器 | ±0.04°（基于预对准卡盘） |
| — 24000 CPR 编码器 | ±0.02°（基于预对准卡盘） |
| 伺服轴数量 | 3 轴 |
| 主机通信接口 | RS232、Ethernet |
| 最大初始晶圆偏移 | 12 mm |
| 机体尺寸（宽 × 长 × 高） | 173 mm × 317 mm × 190 mm |
| 兼容占地型号 | LPA812-3、LPA1218-3、LPA8ET-3、LPA12ET-3 |
| 重量 | 5.50 kg |
| 供电要求 | 100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA 或 24 VDC / 2A |
| 真空要求 | 12″ Hg |
| 缺口/平边兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净等级 | Class 1 |
| MTBF（平均无故障时间） | > 70,000 小时 |
