logosol 寻边器,Logosol Pre-Aligner夹持型预对准器,logosol 边缘夹持寻边器

logosol 寻边器

logosol 寻边器产品采用经行业验证的可靠技术,由此打造出全行业型号最完备的产品线。logosol 寻边器支持45毫米至480毫米工件的精准处理,无论材质透明度(包括全 opaque 不透明至 fully transparent 全透明)。其独创的一体化设计搭配多功能控制软件,可实现”即插即用”的兼容性,轻松对接各类半导体设备平台。

logosol 寻边器主要类型:

 

 

独立式预对准器

专为45mm至480mm工件(含方形及双层基板)的高精度对准而设计的自主化设备,具备以下特性:

单机兼容多尺寸工件处理,无需机械重定位
支持吸盘装载与针式装载双模式
可选配超高精度对准模块

 

 

 

 

 

 

 

嵌入式预对准系统
专为高速晶圆传输系统设计的低成本中心计算与角度定向装置,具有以下核心优势:

  • 支持45-480mm工件的精准对准

  • 可兼容市场上所有主流机械手臂,集成便捷

  • 提供高精度选配模块及多种吸盘尺寸/材质方案

 

 

寻边器, 边缘接触式预对准系统
采用革命性被动边缘接触技术(零夹持力),作为传统边缘夹持预对准技术的革新解决方案,具有以下显著优势:

  • 无晶圆应力:彻底消除传统夹持方式导致的微应力损伤

  • 极致洁净:满足Class 1洁净室标准(可定制更高等级)

  • 广泛兼容:支持75mm至300mm晶圆/基板处理

  • 双版本可选:标准版(±50μm)|高精度版(±10μm)

 

 

 

 

 

快速交换预对准系统
基于专利设计的高吞吐量预对准解决方案,具备突破性的快速交换功能:

 

 

 

 

 

 

 

Logosol Prealigner

定制化预对准器
罗戈索尔全系列预对准器产品均基于自主研发的完整技术体系,涵盖:

  • 硅基设计与机械结构开发

  • 运动控制算法及软件系统

凭借30年行业经验积累,我们已为各类应用场景开发过众多预对准解决方案。对于标准型号无法满足的特殊需求,可提供全方位定制服务,包括:
▶ 非标尺寸/材料适配
▶ 特殊精度要求实现
▶ 特定产线集成方案

 

logosol 寻边器订货指南:

 


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